金融界2025年6月21日音问，国度学问产权局信息露馅，拓荆科技（上海）有限公司肯求一项名为“一种薄膜千里积系统”的专利，公开号CN120174337A开云体育，肯求日历为2025年03月。

专利摘抄露馅，本发明提供了一种薄膜千里积系统。所述薄膜千里积系统包括第一气源、第一气体管路选取二气体管路。该第一气源用于提供造成应力薄膜的第一气体。该第一气体管路第一端运动所述第一气源，而其第二端瞄准晶圆后头的第一区域选取二区域，其中，所述第一区域与所述第二区域对于所述晶圆的第一径向对称散播。该第二气体管路第一端运动所述第一气源，而其第二端瞄准所述晶圆后头的第三区域选取四区域，其中，所述第三区域与所述第四区域对于所述晶圆的第二径向对称散播。

天眼查贵寓露馅，拓荆科技（上海）有限公司，诞生于2020年，位于上海市，是一家以从事零卖业为主的企业。企业注册成本143253.79万东说念主民币。通过天眼查大数据分析，拓荆科技（上海）有限公司参与招投标款式20次，财产痕迹方面有商标信息1条，专利信息258条，此外企业还领有行政许可29个。

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